晶圓探針卡技術服務｜設備檢測 × 產品 × 製程

設備檢測｜高精度測試平台
PRVX 全自動探針卡檢測調針機
PRVX3 全自動探針卡檢測調針機
PRVX 高精密度設備：高可靠、高效能檢測
可互換檢測母板：快速切換，擴充多樣測試項目
精度：0.0045 mm；電阻解析度 0.076 μΩ
彈性：支援多探針配置與模組化擴充
效率：自動化量測、數據分析、覆蓋率圖
測試設備 規格
久元 YT5100 Tester YT5100 P/C 相關量測
Teradyne J750 Tester J750 P/C 相關量測
Advantest HP93000 Tester HP93000 P/C 相關量測
產品與檢測｜應用半導體元件晶圓階段測試之晶圓探針卡
Cantilever Logical Probe Card
Cantilever Logical Probe Card
適用邏輯晶片
Cantilever Probe Card
Cantilever Probe Card
跨橋蜘蛛（含Ring）技術
Cantilever Probe Card
Cantilever Probe Card
菱蜘蛛技術
應用：顯示驅動器晶片（Display Driver ICs）、邏輯晶片（Logic Devices）、記憶體晶片（Memory Devices）、金球焊墊（Gold Bump）與焊盤（Pad）晶圓等
特點：高難度跨橋結構，單邊可做 2～5 排針；提供客製化，依 IC Pad 排列設計專用 Probe Card
特點：依客戶 Die Pad 特殊需求設計菱形出針，滿足特定 touch 要求
產品製程｜Cantilever
cantilever_1
cantilever_2
項目名稱 項目規格 項目名稱 項目規格
針數 (PIN) ≤1000針 間距 (Pitch) 最小40um
針位 ±0.2mil 測試溫度 -40°C ~ 175°C
針尖直徑 0.3mil 水準 ±0.2mil
針尖角度 103°±1° 接觸阻抗 0.5Ω
針尖長度 260um ±20um 漏電流 1pA, 10V
待測物 (DUT) 256顆 電壓 5000V, 100uA
層數 (Layer) 12層 電流 200A, 1250V